掃描式電子顯微鏡可像數(shù)碼相機一樣操作簡單，在輕松獲得大倍數(shù)圖像的同時，保持著高分辨率和大景深，具有掃描電子顯微鏡的強大電子光學(xué)性能，有助于加快在生命科學(xué)以及加工材料的缺陷分析方面的研究步伐。
該設(shè)備在自動對焦、自動襯比和自動亮度控制等基本方面，操作都很簡單，無需進行涂層或干燥等特殊的樣品處理準備，高真空和低真空兩種操作模式以及三種加速電壓設(shè)置，適用于多種應(yīng)用領(lǐng)域，所有這些都可在預(yù)先設(shè)定的方案文件中進行編程，在輕松獲得大倍數(shù)圖像的同時，保持著高分辨率和大景深，具有掃描電子顯微鏡的強大電子光學(xué)性能。
掃描電鏡由電子槍發(fā)射出電子束(直徑約50um)，在加速電壓的作用下經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成直徑為5nm的電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉(zhuǎn)線圈的作用下，電子束在樣品上做光柵狀掃描，電子和樣品相互作用產(chǎn)生信號電子，這些信號電子經(jīng)探測器收集并轉(zhuǎn)換為光子，再經(jīng)過電信號放大器加以放大處理，成像在顯示系統(tǒng)上。
掃描式電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)包括電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集、圖像顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)，這部分主要由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室組成，電子槍提供一個穩(wěn)定的電子源，形成電子束，一般使用鎢絲陰極電子槍，用直徑約為0.1 mm的鎢絲，彎成發(fā)夾形，形成半徑約為100um的V形。當燈絲電流通過時，燈絲被加熱，達到工作溫度后便發(fā)射電子，在陰極和陽極間加有高壓，這些電子則向陽極加速運動，形成電子束。電子束在高壓電場作用下，被加速通過陽極軸心孔進入電磁。
